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作為低原子序數材料，對離子、等離子具有較強的抗轟擊能力，純度高沒(méi)有金屬離子不會(huì )對半導體產(chǎn)生污染。 用于等離子cvd用部件 等離子cvd用感受器、電極室、噴嘴、內襯、濺射用電極、mocvd感受器等
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