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石墨舟作為太陽(yáng)能電池片鍍減反射膜時(shí)的一種載體,其結構和大小直接影響硅片的轉化效率和生產(chǎn)效率,經(jīng)過(guò)多年的技術(shù)研究和發(fā)展,我司現擁有先進(jìn)的生產(chǎn)設備、技術(shù)成熟的設計人員和經(jīng)驗豐富的生產(chǎn)員工,且材料均為進(jìn)口原料,目前我司所制造的石墨舟具有結構簡(jiǎn)單、石墨舟片距離合理,使得硅片的鍍膜均勻、提高硅片的品質(zhì),使得太陽(yáng)能轉化效率高。石金公司有現在市場(chǎng)需要的所有類(lèi)型石墨舟
發(fā)布時(shí)間:2020-10-21
瀏覽次數:16791
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膜厚。沉積時(shí)間的不同膜厚也是不一樣的要根據PEVCD石墨舟鍍膜的顏色來(lái)適當的增加或減少它的沉積時(shí)間,片子發(fā)白要減少沉積時(shí)間,如偏紅則要適當的增加。每一舟片子要全面的確認,不允許把不良品流入到下道工序,如色斑、水印鍍膜不良,應及時(shí)挑出產(chǎn)線(xiàn)最常見(jiàn)的表面發(fā)白、色差、白點(diǎn),其中表面發(fā)白主要由于氮化硅膜較厚導致,可通過(guò)調節膜沉積時(shí)間來(lái)調整;色差片主要由于氣路堵塞、石英管漏氣、微波故障等導致;白斑主要由于前道
發(fā)布時(shí)間:2020-10-09
瀏覽次數:4459
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將新石墨舟及使用超過(guò)3 年的舊石墨舟飽和后進(jìn)行PECVD鍍膜,片間均勻性差異如圖7 所示。由圖7 可知,新石墨舟?表面平整度好,石墨舟片導電性一致,薄膜分子可以均勻地沉積在硅片表面,片間均勻性更優(yōu)。圖8 為新石墨舟在使用周期內的片間均勻性變化趨勢圖。
發(fā)布時(shí)間:2020-08-09
瀏覽次數:4194
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石墨舟清洗
石墨舟烘干
石墨舟預處理(飽和)
石墨舟的維護
發(fā)布時(shí)間:2020-07-16
瀏覽次數:5163
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管式鍍膜在硅片表面沉積一層氮化硅減反射膜,增強光的吸收與鈍化作用,鍍膜故障部分存在解決時(shí)間比較長(cháng),分析困難的情況,本文將介紹管式鍍膜舟污染異常情況,期待與您共同進(jìn)步。
發(fā)布時(shí)間:2020-06-29
瀏覽次數:4459
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主要區別在于肉眼無(wú)法觀(guān)察的一些細小氮化硅顆粒物的殘留導致石墨舟表面的平整性、粗糙度存在差異在3D顯微鏡狀態(tài)下測試的氮化硅殘留區域與非氮化硅殘留區域微觀(guān)形貌及粗糙度
發(fā)布時(shí)間:2019-11-14
瀏覽次數:3410
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石墨舟污染原因和改善方法
少量微顆粒膜前附著(zhù)到wafer上。鍍膜時(shí)SIN層沒(méi)能渡到wafer表面,造成小白點(diǎn)
特氣管道殘遇硅烷(濃度很低),隨氮氣沖出。在石墨舟出來(lái)的過(guò)程中造成明顯的氣流痕跡。
發(fā)布時(shí)間:2019-11-12
瀏覽次數:11674
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根據以上分析爐管粉塵污染大致分為如下幾類(lèi):
1.石墨舟舟片上淡黃色微顆粒;
2.石墨舟舟片上?可去掉,或不可去掉小白點(diǎn);
3.石墨舟舟片上黃色或者白色霧狀附著(zhù)物(稱(chēng)為氣流異常);
4.石墨舟舟片上雪花狀漂浮物;
發(fā)布時(shí)間:2019-11-12
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